Session Mikro-Nano-Integration

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1 Session Mikro-Nano-Integration Ein wichtigen Forschungsgebiet, in dem Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie aufeinander treffen. Unter dem Begriff Mikro-Nano-Integration werden die Integrationen von Nanoobjekten und strukturen in die Mikro-und Makroebene sowie Einsatz von Nanotechnologie-basierten Effekten in Mikrosystemen verstanden Assembly of Miniaturised Systems-Challenges and Solution Olaf Mollenhauer; TETRA Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbh; Ilmenau Die Zukunft wird dreidimensional Markus Thamm; Häcker Automation GmbH; Eisenach Automatisierte robotische Systeme für die Mikro- Nano-Integration Prof. Dr. Albert Sill; Universität Oldenburg Erhöhung Energieeffizenz technologischer Prozesse mit innovativer Hochtemperatur- Feuchtsensorik Arndt Steinke; CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH; Erfurt Thomas Bartnitzek; VIA electronic; Hermsdorf Armin Heymel; TFT; Hermsdorf Wolf Hummel; ILM Ilmenau Mike Schneider; TU Ilmenau

2 Titel des Beitrags: Assembly of Miniaturised Systems: Challenges and Solutions Untertitel des Beitrags: Current development in precision engineering Kurzbeschreibung: Last decade precision engineering went down to reach precision less then 5 μm. Today the target is to get the precision better than 1μm. Processing times have to speed up to get more efficiency. Fast and easy implementation of components is needed for complex systems. Precision and speed are working against each other. Here about the solutions Stichworte: Precision engineering Distance and Position Processing time Distributed control design

3 Referenteninfo s: Olaf Mollenhauer studierte nach seiner Facharbeiterausbildung zum Funkmechaniker Gerätetechnik an der TU Ilmenau. Seine ersten Jahre im Berufsleben verbrachte er als Assistent an der TU Ilmenau, dann als Projekt- Ingenieur bei Höfer&Bechtel GmbH in Mainhausen entschloss er sich mit seinem früheren Studienkollegen Herrn Dr.-Ing. Andreas Karguth zur Gründung der TETRA Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbh, in der er seit her als Geschäftsführender Gesellschafter tätig ist. Das Portfolio seines Unternehmens umfasst Produkte, Systeme und Komponenten der Präzisions-Mechatronik im Bereich der Mikrosensorik, Präzisionsantriebe und Robotik sowie OEM, Systemlösungen und spezifischen F&E-Leistungen. Kontaktdaten: Ansprechpartner: Olaf Mollenhauer Einrichtung: TETRA Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbh Straße, Nr.: Gewerbepark Am Wald 4 PLZ Ort: Ilmenau Tel./Fax: om@tetra-ilmenau.de Unterschrift: Ort, Datum:......

4 Titel des Beitrags: Die Zukunft ist dreidimensional Untertitel des Beitrags: 3D-MID Technologie in der Sensorik Kurzbeschreibung: Die 3D-MID Technologie ermöglicht eine Reduzierung von Größe und Gewicht sowie eine große Variantenvielfalt von Bauteilen. Sensoren haben ihren Einsatz meist in Mikroumgebungen in denen diese Vorteile besonders zum Tragen kommen. Mittels MID ist es möglich Sensoren räumlich aufzubauen. Die Häcker Automation gibt Einblicke in die Zukunft der MID-Technologie in der Sensorik. Stichworte: - Sensorik - 3D-MID - Automatisierung - Modularität - Mikromontage - Mikro- und Nano-Dosieren - Mikro-Laserlöten

5 Referenteninfo s: Entwicklungsmitarbeiter mechanisches Design, Litef in Freiburg Verkaufsingenieur, Advantek in Freiburg Leiter Verkauf, Digital Instruments in Mannheim Leiter europäischer Verkauf und Manager, Veeco Instruments in Mannheim stellvertretender Präsident Verkauf und Kundenservice 2009 Leiter Marketing, Häcker Automation GmbH in Schwarzhausen Kontaktdaten: Ansprechpartner: Markus Thamm Einrichtung: Häcker Automation GmbH Straße, Nr.: Inselbergstraße 17 PLZ Ort: Schwarzhausen Tel./Fax:

6 Titel des Beitrags: Automatisierte robotische Systeme für die Mikro-Nano-Integration Untertitel des Beitrags: Der Weg zu Pick-and-Place Organisation auf Mikro- und Nanoskala Kurzbeschreibung: Mobile robotische Plattform können in optische und Elektronen-Mikroskopen gezielt für die Handhabung und Charakterisierung von mikro-und nanoskaligen Objekten eingesetzt werden. Am Beispiel von zwei konkreten Aufbauten werden die notwenigen neuen Regelungskonzepte und Handhabungsstrategien präsentiert, um eine vollständige Automatisierung solcher Prozesse zu erreichen. Stichworte: - Mikro- und Nanorobotik - Pick-and-Place Handling - Automatisierung - Mikro-und Nanomontage - Mikro-und Nanointegration - Präzisionstechnik

7 Referenteninfo s: Albert Sill, Class Diederichs und Volkmar Eichhorn OFFIS e.v., Technologiecluster Automatisierte Nanohandhabung Oldenburg Kontaktdaten: Ansprechpartner: Albert Sill Einrichtung: OFFIS, TC ANH Straße, Nr.: Escherweg 2 PLZ Ort: Oldenburg Tel./Fax: / albert.sill@offis.de

8 Titel des Beitrags: Erhöhung Energieeffizienz technologischer Prozesse mit innovativer Hochtemperatur-Feuchtesensorik Untertitel des Beitrags: Mikro-Nano-Integration als Systemlösung für innovative Produkte Kurzbeschreibung: Bündelung Thüringer Kompetenzen (Material, AVT, Mikro-Nano-Sensorik, Produktentwicklung) von KMU (TFT, VIA, ILM) und Forschungseinrichtungen (TU Ilmenau, CIS). Mit Innovation IN-LINE-Sensorik verfahrensseitige Prozesse möglich. Messung in korrosiver Umgebung möglich Stichworte: -durchkontakttreue LTCC-Substrate -CCC-Prinzip -absolute Feuchtesensorik -Mikro-Nano-Integration -Energieeffizienz -Mikrosystemlösung

9 Referenteninfo s: Thomas Bartnitzek; VIA electronic Hermsdorf Armin Heymel; TFT Hermsdorf Wolf Hummel; ILM Ilmenau Mike Schneider; TU Ilmenau Arndt Steinke; CIS Erfurt Kontaktdaten: Ansprechpartner: Arndt Steinke Einrichtung: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH Straße, Nr.: Konrad-Zuse-Straße 14 PLZ Ort: Erfurt Tel./Fax: